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分子汚染、粒子、および繊維のワイプテスト

  • 2021-08-26 14:52:39

分子汚染、粒子、および繊維のワイプテスト

クリーンルームの粒子テストと繊維の列挙は、低リントワイプ、テキスタイル、またはその他のクリーンルーム材料からの浮遊粒子、繊維、およびその他の放出を測定します.


粒子試験方法は、中程度の機械的応力の条件下で、湿潤状態でワイパー(または他の材料)から放出された粒子および繊維の抽出および列挙を説明します.


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液体パーティクルカウンティング(LPC)ワイプ粒子テスト

テストの説明:中程度の機械的応力の条件下でのワイパーおよびその他の材料からの粒子放出


パーティクルカウント装置または微視的列挙用のサンプルの準備は、ISO5クリーンルームで開始されます.制御された環境は、外部の汚染が誤検知を生成するのを防ぎます.環境は、無菌手順に必要な環境と似ています.層流フードは、HEPAでろ過された空気を作業面の外側に向け、作業領域から微量の汚染物質を一掃します.


LPCが上記のように設定されると、ユニットはビーカーから10 mLの液体を取り出し(LPCの一部である液体サンプリングシステムを使用)、粒子の濃度を測定します.ユニットはこのプロセスをさらに3回繰り返します.ソフトウェアは、最初の読み取り値を破棄し、2番目、3番目、4番目の結果を平均し、確立されたすべてのしきい値(チャネル)範囲について、mLあたりの累積粒子と微分粒子を報告します.


Texwipe TM22 6.2

液体粒子カウンター(LPC)は、小さな粒子によって散乱された光を検出します.その後、光は電気信号に変わります.粒子は光を吸収します.これにより、マシンは返されたレーザーの波長と光の形状を推測することで粒子を検出できます.


液体パーティクルカウンターの制限

歴史的に、粒子試験装置の制限により、液体粒子の数は合計で1mLあたり10,000粒子に制限されていました.粒子数が多いサンプルでは、​​適切な希釈が必要でした.


顕微鏡の列挙カウントはどのように粒子状物質ですか

走査型電子顕微鏡は、IEST-RP-CC004に記載されている二軸振とう法でワイプサンプルを攪拌および攪拌した後、サンプルの列挙を可能にします.光学顕微鏡で繊維数を評価する前に、サンプルをろ過して乾燥させます.


粒子カウントにSEM計測を使用すると、サンプル準備中に放出された粒子の数を非常に正確に識別するのに十分な感度のある方法が提供されます.3– 5ただし、問題は、厳密に近似する方法でテストサンプルを準備する方法です.実際の使用条件は、さらなる研究を招きました.


クリーンルームワイパー試験のためのサンプル準備技術の評価1997

試験方法1.2)繊維の定量化は2つの範囲で実行されます:20 – 100 µmおよび> 100 µm.抽出後、繊維は格子状の濾紙に捕捉され、乾燥させてから光学顕微鏡でカウントされます. Texwipeテスト方法(TN22)


このテストの課題は、超高純度の抽出システムを維持することです.


試験方法6.1):粒子がフィルターのフィルターされた領域全体に均一に分布していない場合は、新しいサンプルを準備する必要があります.フィルター全体の粒子分布の均一性は、正確な定量化のために必須です. Texwipeテスト方法(TN22)


液体粒子および繊維数の顕微鏡ベースの測定技術

テストの説明:クリーンルームワイパーの包括的な粒子および繊維テスト1998年11月/ 12月


電子顕微鏡は、液体粒子数を評価するためのLPC、または空中粒子数に使用されるAPCでは検出できない粒子の列挙を可能にします.


TexwipeなどのPACベンダーによる新しいワイパー汚染テストでは、単一のサンプル準備内で粒子数と繊維数を列挙するための改善された方法が紹介されています.


この手順では、すべてのサイズを列挙するために単一のサンプル準備を使用するため、粒子と繊維を別々にサンプル準備する必要がありません.準備には、ワイパーを低表面張力の洗浄液に浸して攪拌し、粒子を含んだ液体をミクロポーラスメンブレンフィルターでろ過することが含まれます.


次に、フィルターを走査型電子顕微鏡(SEM)スタブに取り付け、光学顕微鏡を使用して分布の均一性を最初に調べます.均一性が決定されると、このステップで大きな繊維もカウントされます.次に、サンプルスタブがSEMに転送され、さまざまなサイズのカテゴリの粒子がさまざまな倍率でカウントされます.結果のカウントの精度と精度は統計的に測定されます.

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