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クリーンルーム内の5つの隠れた汚染源

  • 2022-07-26 10:42:01

環境管理されたクリーンルームの目的は、最小の粒子でさえ許容できない製品を製造および/またはテストするための汚染のないスペースを提供することです。


クリーンルーム の分類評価は、空気の体積あたりに許可される粒子の数とサイズに応じて1〜100,000の範囲です。ただし、半導体、マイクロエレクトロニクス、医療機器/医薬品製造に特化したクリーンルームは、最も厳しいものの1つです。このような施設では、すべての汚染源を減らすために特定のプロセスを実施する必要があります。これは、特定の清浄度基準を満たすように設計された製品をクリーンルーム内で使用することも意味します。


汚染は、その原因を明確に示すことなく、予期せず発生する可能性があります。それは、製造に使用される材料や機器、クリーンルームの人々、さらには粒子を放出するテープやその他の紙ベースの製品などの消耗品に由来する可能性があります。



以下に概説するのは、施設の クリーンルーム 基準を損なう可能性のある汚染の5つの隠れた原因と、これらの汚染源の影響を最小限に抑えるためのアプローチです。


人々

おそらく最もよく知られている発生源であり、人々からのほとんどの浮遊粒子はクリーンルームの衣服から移動します。不適切なクリーンルームの衣服を使用したり、適切なガウンプロトコルに従わなかったり、特定の施設クラスのガウンが不十分だったり、スーツ、スモック、他の衣服、フロアマットの交換の間隔が長すぎたりすると、すべて クリーンルーム 内の粒子レベルが上昇する可能性があります。


粒子は、破れや生地の緩みなど、クリーンルームの衣服の小さな欠陥からも逃げることができます。クリーンルームに最適化されたカフシーリングテープを一貫して使用することは、汚染の機会を最小限に抑える簡単な方法の1つです。


ラベルとテープ


従来のラベルやテープは、汚染の可能性の観点から見過ごされがちですが、特に紙でできている場合、紙の芯がある場合、および/またはガス放出または粘着性の残留物を残す接着剤がある場合、クリーンルームの予期しない汚染源です。これらの問題を一度に1つずつ調べてみましょう。


コア:ほとんどのテープ製品は、粒子状になりがちなボール紙コアで製造されています。コアからの粒子化を防ぐために、滑らかな仕上げのプラスチックコアを備えたテープロールを使用してください。プラスチックのバリや鋭いエッジがクリーンルームの手袋やバッグを切り裂き、クリーンルームを追加の汚染源にさらす可能性があるため、これは重要です。


バッキングとライナー:他のテープやラベルの場合、紙のバッキングやフェイスストックもクリーンルームでの粒子化を引き起こします。さらに、剥離ライナーと紙は、クリーンルームを汚染する可能性のある粒子を残す傾向があります。これらの用途に合成材料を使用すると、粒子の生成がなくなります。


包装:テープやラベルに紙を使用する以外に、包装自体(印刷されたバッグ、静電放電バッグ、単一の袋に入れられたアイテム)にも汚染が存在する可能性があります。最大限の保護を行うには、施設内でアイテムを二重に袋に入れ、適切に袋から取り出して、外部のパッケージからの汚染がクリーンルームに持ち込まれないようにする必要があります。


接着剤:テープやラベルに関連する別の汚染源は、ガス放出する可能性のある粘着性の残留物を残す可能性のある接着剤にあり、クリーンルームに目に見えない汚染層を残します。化学汚染は、半導体製造と医療/医薬品製造の両方で大きな懸念事項です。したがって、ガス放出や接着剤の残留物の発生源を排除することが重要です。シリコンウェーハ表面に付着する有機汚染物質、およびリソグラフィプロセスで使用されるレンズは、チップ、医療機器、および製薬会社にとって深刻な問題になっています。


上記のラベルおよびテープで生成された汚染源はすべて、残留物のないクリーンルーム認定のテープ、リリースライナー、および認定クリーンルーム消耗品サプライヤーのパッケージを使用することで簡単に排除できます。


クリーンルーム


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